試料測定用プローブ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：最上健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994176210
Publication number (International publication number)：1996021846
Application date： Jul. 06, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】液体中に設けられた試料に対しても、試料に歪みを与えることなくノンコンタクトモード測定を可能にした試料測定用プローブ装置を提供する。【構成】支持部3に支持され、自由端に探針2を備えた弾性体1を、試料5を保持した溶液4中に配置し、駆動源6により弾性体1の固有振動数で強制励振し、振動するように構成する。そして、探針先端が試料5の表面に接近することによる弾性体1の振動状態の変動を変位検出器7で検出し、該変位検出器7の検出出力を試料データ表示装置8に入力して、試料5のトポグラフィー像を得るようにする。

Claim (excerpt)：

液体中に試料を保持する手段と、探針を自由端に備えた弾性体と、該弾性体を微振動させるための駆動源と、前記探針の先端が前記試料の近傍に接近したときの振動の変化を検出する検出装置とを有する試料測定用プローブ装置において、前記弾性体は、液体中において該弾性体の固有振動数で強制励振できるような軟らかさをもち、前記駆動源は前記弾性体を前記液体中において該弾性体の固有振動数の近傍で強制励振するように構成したことを特徴とする試料測定用プローブ装置。

IPC (2)：

G01N 37/00 , G01B 21/30

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開平2-087009
特開平4-162341
原子間力顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-033597 Applicant：セイコー電子工業株式会社

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