プラズマディスプレイパネルの製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998051561
Publication number (International publication number)：1999231524
Application date： Feb. 17, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】現像処理においてアンダーカットを防ぎ、各構成要素のパターンを高い効率で確実に、高精細に製造することができるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供すること。【解決手段】特定の光開始剤を有するレジスト膜31を用い、二層レジスト法により無機パターンを有するパネル材料を形成する。

Claim (excerpt)：

支持フィルム上に形成された無機粉体分散ペースト層を基板上に転写し、当該無機粉体分散ペースト層上に、式(1)で表される化合物を含有するレジスト膜を形成し、当該レジスト膜を露光処理して、レジストパターンの潜像を形成し、当該レジスト膜を現像処理してレジストパターンを顕在化させ、無機粉体分散ペースト層をエッチング処理してレジストパターンに対応する無機粉体分散ペースト層のパターンを形成し、当該パターンを焼成処理する工程を含む方法により、無機パターンを有するパネル材料を形成することを特徴とする、プラズマディスプレイパネルの製造方法。

IPC (5)：

G03F 7/029 , G03F 7/40 521 , H01J 9/02 , H01J 11/02 , H01J 17/49

FI (5)：

G03F 7/029 , G03F 7/40 521 , H01J 9/02 F , H01J 11/02 B , H01J 17/49 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

放射線硬化性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-332889 Applicant：日本合成ゴム株式会社
プラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法及び隔壁形成用組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-199691 Applicant：日本合成ゴム株式会社
プラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-044969 Applicant：大日本印刷株式会社

Show all

Return to Previous Page