Pat
J-GLOBAL ID:200903004228473597
試料評価装置および試料評価方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
井上 学
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006030419
Publication number (International publication number):2007212202
Application date: Feb. 08, 2006
Publication date: Aug. 23, 2007
Summary:
【課題】 従来の電子顕微鏡用試料作製技術では、試料の断面薄膜化試料を作製するのみで、薄膜の状態のデバイス試料に電圧を印加し、デバイスを動作させることができなかった。【解決手段】 収束イオンビーム装置内に複数のプローブを設け、プローブ間には自由に電圧を印加できる構成とする。また、プローブ間の電流を測定し、電流の有無を判定できる検知器を設ける。プローブは半導体デバイスのコンタクトプラグに接触させ、デポジションガスを装置内に導入し、プローブの接触位置に収束イオンビームを照射することで、プローブをコンタクトプラグに接着し、電流導入端子とする。電子顕微鏡の試料ホルダには、この電流導入端子に接触し、電子顕微鏡外部から電圧を印加できる電流導入機構を設ける。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
試料にイオンビームを照射する光学系と、
前記試料に前記イオンビームを照射して分離した試料片を摘出できるプローブと、
前記試料片を載せるステージと、
前記プローブと前記試料片を付ける手段と、
前記試料片の複数箇所に前記プローブを固定し、前記イオンビームの照射により前記プローブ先端部を所望の長さだけ前記試料片に切り残し、
前記ステージは当該切り残された複数のプローブに電流を導入する手段を備え、
前記ステージは電子顕微鏡に導入可能であることを特徴とする試料作製装置。
IPC (5):
G01N 1/28
, G01N 23/225
, H01J 37/317
, H01L 21/66
, H01J 37/20
FI (6):
G01N1/28 F
, G01N23/225
, H01J37/317 D
, H01L21/66 C
, H01L21/66 J
, H01J37/20 F
F-Term (40):
2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001AA10
, 2G001BA06
, 2G001BA07
, 2G001BA11
, 2G001BA30
, 2G001CA03
, 2G001CA10
, 2G001GA06
, 2G001GA10
, 2G001GA11
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA07
, 2G001JA13
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA07
, 2G001PA15
, 2G001PA29
, 2G001QA01
, 2G001QA03
, 2G001RA04
, 2G001RA20
, 2G052AA13
, 2G052EC18
, 2G052GA33
, 4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106BA03
, 4M106BA14
, 4M106CA01
, 4M106CA38
, 4M106DB05
, 4M106DB18
, 5C001BB07
, 5C001CC04
, 5C001CC07
, 5C034DD00
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
-
特許第2774884号公報
-
微視的サンプルを操作する方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-171730
Applicant:エフイーアイカンパニ
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