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J-GLOBAL ID：200903004228473597

試料評価装置および試料評価方法

Inventor：
高口 雅成

About 高口 雅成

, 
常田 るり子

About 常田 るり子


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

About 株式会社日立ハイテクノロジーズ


Agent (1)： 井上 学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006030419
Publication number (International publication number)：2007212202
Application date： Feb. 08, 2006
Publication date： Aug. 23, 2007
Summary：
【課題】 従来の電子顕微鏡用試料作製技術では、試料の断面薄膜化試料を作製するのみで、薄膜の状態のデバイス試料に電圧を印加し、デバイスを動作させることができなかった。【解決手段】 収束イオンビーム装置内に複数のプローブを設け、プローブ間には自由に電圧を印加できる構成とする。また、プローブ間の電流を測定し、電流の有無を判定できる検知器を設ける。プローブは半導体デバイスのコンタクトプラグに接触させ、デポジションガスを装置内に導入し、プローブの接触位置に収束イオンビームを照射することで、プローブをコンタクトプラグに接着し、電流導入端子とする。電子顕微鏡の試料ホルダには、この電流導入端子に接触し、電子顕微鏡外部から電圧を印加できる電流導入機構を設ける。【選択図】 図1
Claim 1：
試料にイオンビームを照射する光学系と、 前記試料に前記イオンビームを照射して分離した試料片を摘出できるプローブと、 前記試料片を載せるステージと、 前記プローブと前記試料片を付ける手段と、 前記試料片の複数箇所に前記プローブを固定し、前記イオンビームの照射により前記プローブ先端部を所望の長さだけ前記試料片に切り残し、 前記ステージは当該切り残された複数のプローブに電流を導入する手段を備え、 前記ステージは電子顕微鏡に導入可能であることを特徴とする試料作製装置。
IPC (5)：
G01N 1/28 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/66 ,  H01J 37/20
FI (6)：
G01N1/28 F ,  G01N23/225 ,  H01J37/317 D ,  H01L21/66 C ,  H01L21/66 J ,  H01J37/20 F
F-Term (40)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001BA06 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA30 ,  2G001CA03 ,  2G001CA10 ,  2G001GA06 ,  2G001GA10 ,  2G001GA11 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA07 ,  2G001JA13 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA07 ,  2G001PA15 ,  2G001PA29 ,  2G001QA01 ,  2G001QA03 ,  2G001RA04 ,  2G001RA20 ,  2G052AA13 ,  2G052EC18 ,  2G052GA33 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA03 ,  4M106BA14 ,  4M106CA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB05 ,  4M106DB18 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001CC07 ,  5C034DD00
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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