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J-GLOBAL ID:200903004228942040

ターボ形ドライポンプ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西岡 義明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000027606
Publication number (International publication number):2001221187
Application date: Feb. 04, 2000
Publication date: Aug. 17, 2001
Summary:
【要約】【課題】 軸受を冷却する冷却ガスが排気ガスと混入しないようにしたターボ形ドライポンプを提供する。【解決手段】 ターボ形ポンプ機構の排気口1Hより軸方向他端側、すなわち下方のステータ1Lとロータ2Lを互いに近接対向させてシール機構を構成する。さらに、このロータ2Lには翼2Yを付設して回転時遠心翼の機能を生起させるよう構成する。このシール機構と遠心翼機能で排気ガスは軸受5、6側への流出が阻止され、軸受5、6の冷却ガスとの混合が阻止される。
Claim (excerpt):
円筒状のハウジング内に軸受を介して回転体を軸着するとともにこの回転体の円周部と前記ハウジングの内周に形成したステータとの間でガス圧縮のポンプ作用を行う円周流ポンプを前記回転体の軸方向に多段に設け、ハウジングの軸方向一端側の吸気口からのガスを圧縮しハウジングの軸方向他端側の排気口に排出するようにしたターボ形ドライポンプにおいて、前記排気口より軸方向他端側の回転体とステータを互いに近接対向させてシール機構を設けるとともに、このシール機構の位置より他端側のハウジングに前記軸受を冷却する冷却ガスを外部に排出する排出口を設け、軸受を冷却した冷却ガスが前記シール機構によって円周流ポンプ側に侵入しないよう構成したことを特徴とするターボ形ドライポンプ。
F-Term (11):
3H031DA01 ,  3H031DA05 ,  3H031DA07 ,  3H031EA00 ,  3H031EA02 ,  3H031EA09 ,  3H031FA01 ,  3H031FA11 ,  3H031FA32 ,  3H031FA35 ,  3H031FA36
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • ヘリウムリークデテクタ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-025086   Applicant:株式会社大阪真空機器製作所
  • ターボ分子ポンプ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-231754   Applicant:セイコー精機株式会社
  • 特開平1-257794
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