Pat

J-GLOBAL ID：200903004234404866

微小変位装置

Inventor： 山宮 広之 ,  水村 峯夫 ,  山口 三雄
Applicant, Patent owner： シグマ光機株式会社
Agent (1)： 近島 一夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001399432
Publication number (International publication number)：2003195947
Application date： Dec. 28, 2001
Publication date： Jul. 11, 2003
Summary：

【要約】【課題】 圧電アクチュエータの作用方向と略々平行に移動部が移動し、かつ変位拡大部は、一平面に配置されるので、力点及び支点連結部が互いに干渉して所望のてこ比を得ることができず、特にZ方向変位部を薄くできない。【解決手段】 固定部35と移動部36とを平行平板の撓み梁41a,41bにて連結し、固定部及び移動部との間に、作用点連結部42及び支点連結部43により変位拡大部37を連結する。固定部35に結合固定部46を結合し、変位拡大部37に結合拡大部49を連結し、結合固定部に一端を固定した圧電アクチュエータ50に、結合拡大部の屈曲部49aに螺合した調整スクリュー7の先端を当接して力点とする。該力点と支点連結部43とが異なる平面にて近接配置されると共に、力点のFy方向の変位により、作用点連結部42を介して移動部をFz方向に変位する。

Claim (excerpt)：

相対移動自在に支持された少なくとも2個の剛体部と、前記2個の剛体部に相対変位を生じる微小変位アクチュエータと、を備えてなる微小変位装置において、前記2個の剛体部にそれぞれ連結されると共に前記微小変位アクチュエータに連係し、前記2個の剛体部の内の一方に連結する連結部を支点とし、他方に連結する連結部を作用点とし、前記微小変位アクチュエータとの連係部を力点として、前記一方の剛体部との間で前記微小変位アクチュエータが前記力点に生じる変位を、変倍して前記作用点から前記他方の剛体部へ伝達する変位変更手段を備え、前記力点に前記微小変位アクチュエータから作用する変位方向と、前記作用点から前記他方の剛体部に作用する変位方向とが、略々90度異なる、ことを特徴とする微小変位装置。

IPC (2)：

G05D 3/00 ,  G12B 5/00

FI (2)：

G05D 3/00 A ,  G12B 5/00 T

F-Term (13)：

2F078CA01 ,  2F078CA10 ,  2F078CB09 ,  2F078CB10 ,  2F078CB14 ,  2F078CB18 ,  2F078CC02 ,  2F078CC03 ,  5H303AA05 ,  5H303AA06 ,  5H303DD14 ,  5H303QQ01 ,  5H303QQ08