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J-GLOBAL ID：200903004249291162

表面特性を特定する装置および方法

Inventor：
ペーター・シュヴァルツ

About ペーター・シュヴァルツ


Applicant, Patent owner：
ビック-ガルトナー・ゲーエムベーハー

About ビック-ガルトナー・ゲーエムベーハー


Agent (5)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004134021
Publication number (International publication number)：2004333494
Application date： Apr. 28, 2004
Publication date： Nov. 25, 2004
Summary：
【課題】 特定された光の特性または照明の種類のもとで、表面の全体的な印象を再現可能に評価決定できるような装置および方法を提供する。【解決手段】 本発明は、表面特性を特定する装置および方法に関するものであり、検査対象となる測定面に平行化された光線を放射するための少なくとも1つの第1の光線放射装置と、この測定面に非平行化された光線を放射するための少なくとも1つの第2の光線放射装置とを有してなり、測定面の上方の空間はほぼ光線を吸収する特性を有する。本発明に係る装置は、さらに少なくとも1つの光線検出装置を有し、光線検出装置は、検査すべき表面によって反射および/または散乱される光線の少なくとも一部を検出し、この反射および/または散乱される光線の特徴を表す少なくとも1つの測定信号を出力する。【選択図】 図1
Claim 1：
表面特性を特定する装置であって、 ほぼ平行化された光線があらかじめ設定された角度をなして測定面に当たるようにする、少なくとも1つの光源を有する少なくとも1つの第1の光線放射装置と、 前記測定面に概ね非平行化された光線を放射するための、少なくとも1つの光源を有する少なくとも1つの第2の光線放射装置と、 前記測定面によって反射および/または散乱された光線の少なくとも一部を受容し、反射および/または散乱された光線に関して特徴的な少なくとも1つの測定信号を出力する少なくとも1つの光線検出装置とを有してなる装置において、 前記測定面の上方の空間が概ね光線を吸収する特性を有していることを特徴とする装置。
IPC (2)：
G01N21/57 ,  G01N21/01
FI (2)：
G01N21/57 ,  G01N21/01 D
F-Term (17)：
2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ26 ,  2G059KK01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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