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J-GLOBAL ID：200903004250503793
ビューファインダー用カラーフイルターの検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小西 淳美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995192646
Publication number (International publication number)：1997021724
Application date： Jul. 06, 1995
Publication date： Jan. 21, 1997
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 モニターを介した目視観察にてビューファインダー用カラーフイルターの全ての種類の欠陥検出ができる欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 (A)ビューファインダー用カラーフイルター110を複数回撮像し、複数回分数分の画像信号を加算、平均処理し、第一の加算平均処理画像信号を得る工程、(B)撮影する位置をわずかにずらして、ビューファインダー用カラーフイルター110を複数回撮像し、複数回分数分の画像信号を加算、平均処理し、第二の加算平均処理画像信号を得る工程、(C)前記第一の加算平均処理画像信号と第二の加算平均処理画像信号との差信号を得る工程、(D)得られた差信号に対し、近傍平均値の減算あるいは微分処理を施し、所定のスライスレベルで2値化してモニター画像用データを得る工程、(E)前記モニター画像用データをモニターにて映像化し、欠陥を目視にて検出する工程、とを有する。
Claim (excerpt)：
透過照明手段およびまたは反射照明手段を用いて、XY駆動制御されたXYステージ上の透明な保持板上のビューファインダー用カラーフイルターをCCD素子等の画素分割素子からなる撮像手段により撮像し、撮像により得られた信号を処理した処理信号をモニターにて映像化し、該モニターの画像を目視することにより欠陥を検出する目視欠陥検査方法であって、順次、(A)試料であるビューファインダー用カラーフイルターを複数回撮像し、複数回分数分の画像信号を加算、平均処理し、第一の加算平均処理画像信号を得る工程、(B)撮影する位置をわずかにずらして、試料であるビューファインダー用カラーフイルターを複数回撮像し、複数回分数分の画像信号を加算、平均処理し、第二の加算平均処理画像信号を得る工程、(C)前記第一の加算平均処理画像信号と第二の加算平均処理画像信号との差信号を得る工程、(D)得られた差信号に対し、近傍平均値の減算あるいは微分処理を施し、所定のスライスレベルで2値化してモニター画像用データを得る工程、(E)前記モニター画像用データをモニターにて映像化し、欠陥を目視にて検出する工程、とを有することを特徴とするビューファインダー用カラーフイルターの検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 D
