Pat

J-GLOBAL ID：200903004254261492

スピンチャックの製造方法

Inventor： 関根 勝美
Applicant, Patent owner： エヌオーケー株式会社
Agent (1)： 野本 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999351494
Publication number (International publication number)：2001168179
Application date： Dec. 10, 1999
Publication date： Jun. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】樹脂製のスピンチャックの円盤部3の上面ないし突起5,6の上面にうねりや反り等が発生しにくく、もって寸法精度に優れ、更にコストが安い樹脂製のスピンチャックを製造することが可能なスピンチャックの製造方法を提供する【解決手段】 回転処理装置の回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチャックを、そのセンター1点からのゲート方式により成形することにした。

Claim (excerpt)：

回転処理装置の回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチャック(1)を、そのセンター1点からのゲート方式により成形することを特徴とするスピンチャックの製造方法。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B05C 11/08

FI (2)：

H01L 21/68 P ,  B05C 11/08

F-Term (7)：

4F042AA07 ,  4F042AA08 ,  4F042CC04 ,  4F042DA01 ,  5F031CA02 ,  5F031GA26 ,  5F031MA26