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J-GLOBAL ID：200903004258549350

気体圧力式液体噴出方法及びその実施装置

Inventor： 武藤 修康 ,  村山 昌則 ,  森永 典文
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993301407
Publication number (International publication number)：1995153671
Application date： Dec. 01, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】 容器内の液体に気体圧力を加えることで導管の噴出口より液体を噴出させる際、噴出液体の発泡を低減させて、液体の噴出流量の変動を低減させる。【構成】 キャニスタータンク(容器)1内に入れられた液体に気体圧力を加えることで導管5内に液体を導入し、導管5の噴出口5aより液体を噴出させる技術において、流量計6で導管5内の液体の流量を検出し、該検出値をPID付コントローラ7で予め設定された目標値と比較し、検出値と目標値との偏差にしたがってレギュレータ4の弁の開閉を操作して気体圧力を調整することにより、液体の流量をフィードバック制御する。また、液体の噴出を行わないときは、液体に気体圧力を加えない。

Claim (excerpt)：

容器内に入れられた液体に気体圧力を加え、前記容器に接続された導管内に前記液体を導入し、該導管の噴出口より前記液体を噴出させる気体圧力式液体噴出方法において、前記導管内の所定位置における液体の流量を検出し、該検出値に基づき前記気体圧力を調整し、前記液体の流量をフィードバック制御することを特徴とする気体圧力式液体噴出方法。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (2)：

H01L 21/30 564 Z ,  H01L 21/30 569 A