Pat

J-GLOBAL ID：200903004282672090

ビームモニタ及びビームの測定方法

Inventor： 小橋 宏司
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997345624
Publication number (International publication number)：1999174199
Application date： Dec. 15, 1997
Publication date： Jul. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】 大出力の放射光、エキシマレーザ光及びX線等のビームの位置及びその断面形状を高精度及び高速で測定することができ、長期間安定して動作すると共に、製造コストを低減することができるビームモニタ及びビームの測定方法を提供する。【解決手段】 ダイヤモンド板1a及び1bが、その端面同士を平行にして若干離間した状態で駆動装置に支持されている。これにより、ダイヤモンド板1aとダイヤモンド板1bとの間には、任意の幅の間隙部11aが形成される。また、ダイヤモンド板1a及び1bからビーム6の進行方向に離間した位置に、任意の幅で間隙部11bを有するダイヤモンド板1c及び1dが配置されている。間隙部11a及び11bにビーム6を通過させて、ダイヤモンド板の両面に配置された電極間に流れる電流を測定することにより、ビーム6の強度及び位置を測定する。

Claim (excerpt)：

端面同士を互いに平行にして離間して配置され両面に電極を有する1対のダイヤモンド板からなる第1ユニットと、測定対象のビームが進行する方向に前記第1ユニットから離間した位置に配置された第2ユニットとを有し、この第2ユニットには端面同士を互いに平行にして離間して配置され両面に電極を有する1対のダイヤモンド板が測定対象のビームの進行方向に1又は複数組配置されていて、前記第1ユニット及び第2ユニットを構成するダイヤモンド板のうち、1又は複数対のダイヤモンド板はその相互間隔を調整可能であることを特徴とするビームモニタ。

IPC (3)：

G21K 5/04 ,  G01T 1/29 ,  H01S 3/00

FI (3)：

G21K 5/04 C ,  G01T 1/29 A ,  H01S 3/00 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 放射光位置モニターとその位置検出方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-101868   Applicant：理化学研究所, 住友電気工業株式会社, 石川島播磨重工業株式会社
• 特開平4-038490
  
• 放射光位置モニター
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-082880   Applicant：理化学研究所, 石川島播磨重工業株式会社, 住友電気工業株式会社
• 特開平4-038490