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J-GLOBAL ID：200903004284635184

静圧気体軸受装置

Inventor： 明石 幸治 ,  柳橋 健太郎
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997109854
Publication number (International publication number)：1998299779
Application date： Apr. 25, 1997
Publication date： Nov. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】軸受剛性が極めて高い静圧気体軸受装置を提供する。【解決手段】静圧気体軸受装置において、可動部材又は固定部材の軸受面に、軸受隙間へ圧縮気体を噴出する複数個の気体噴出孔を形成し、これら気体噴出孔に座ぐりを設けた多孔質体を挿嵌するとともに、前記軸受面に、各気体噴出孔と連通する環状の絞り溝を設ける。

Claim (excerpt)：

可動部材を固定部材との軸受隙間に静圧気体層を形成して支承し、非接触の状態で移動自在としてなる静圧気体軸受装置において、上記可動部材及び/又は固定部材の軸受面に、前記軸受隙間へ圧縮気体を噴出する複数個の気体噴出孔を形成し、これら気体噴出孔に座ぐりを設けた多孔質体からなるブッシュを挿嵌するとともに、前記軸受面に、各気体噴出孔と連通する環状の絞り溝を刻設したことを特徴とする静圧気体軸受装置。

IPC (2)：

F16C 32/06 ,  B23Q 1/38

FI (2)：

F16C 32/06 Z ,  B23Q 1/26 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 静圧気体軸受
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-190552   Applicant：エヌティエヌ株式会社
• 特開昭55-060720