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J-GLOBAL ID：200903004288283967

マイクロポンプの製造方法

Inventor： 野瀬 保人 ,  清水 信雄 ,  紙透 真一 ,  濱 辰男
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992268828
Publication number (International publication number)：1993306683
Application date： Oct. 07, 1992
Publication date： Nov. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ダイアフラム、流路、及びバルブ部を形成したシリコン基板をガラス基板等でサンドイッチした構造を有するマイクロポンプにおいて、液体のプライミング性と気泡抜け性を向上、また、経時後も安定した効果を持たせる事にある。【構成】 マイクロポンプを構成後、水溶性塩類、または多価アルコール類の一種以上を含む液を注入、乾燥する事によって、マイクロポンプ内面部に上記物質を付着させる事を特徴とする。【効果】 マイクロポンプ内表面部に吸着された水溶性塩類、または多価アルコール類が水溶液に対して湿潤性を有するために、容易にポンプ内へ液体を流入させる事が出来、気泡の排出性も向上した物が得られた。

Claim (excerpt)：

ダイアフラム、流路及びバルブ部を形成したシリコン基板をガラス基板等でサンドイッチした構造を有するマイクロポンプにおいて、ポンプ中に水可溶性塩の一種以上を含む溶液を一旦注入し、乾燥する事によってポンプの液体と接する面に該塩類を付着させた事を特徴とするマイクロポンプの製造方法。

IPC (2)：

F04B 43/02 ,  F04B 43/04