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J-GLOBAL ID：200903004310085678

ウェーハキャリアケース

Inventor： 長沼 健
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993019682
Publication number (International publication number)：1994216227
Application date： Jan. 12, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 容易且つ的確にウェーハ情報を確認し、且つウェーハ品質を有効に保証し得るウェーハキャリアケースを提供する。【構成】 複数の半導体ウェーハ8を列設して装着する内箱2と、内箱2を収容する外箱4とから成り、多数の半導体ウェーハ8を搬送し得るようになっている。外箱4の一定部分を透明材料により形成したものである。特に外箱2の蓋体4の適所に、透明窓部10を設け、又は外箱2の蓋体4を透明材料により形成したものである。透明窓部10、又は蓋体4自体を介して、ウェーハキャリアケース1内部を観察することができ、そこから有効なウェーハ情報を得ることができる。外箱2の蓋体4を開閉しないで済むため、ウェーハキャリアケース1内への微細粒子の侵入等を有効に防止することができる。また複数の半導体ウェーハ8は、それらの収納高さが順次高くなるように、内箱7に列設して装着され、ウェーハ8の所定部位を極めて視認し易くする。

Claim (excerpt)：

複数の半導体ウェーハを列設して装着する内箱と、この内箱を収容する外箱とから成り、多数の半導体ウェーハを搬送し得るウェーハキャリアケースにおいて、上記外箱の一定部分が透明材料により形成されていることを特徴とするウェーハキャリアケース。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/38