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J-GLOBAL ID：200903004316895787

フッ素化エステルのジアゾ増感剤

Inventor： ディネシュ、エヌ、カンナ ,  ロバート、イー、ポトビン
Applicant, Patent owner： ヘキスト・セラニーズ・コーポレーション
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991353453
Publication number (International publication number)：1994027663
Application date： Dec. 17, 1991
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】ヘキサフルオロイソプロピリデン基を含有するジアゾフッ素化エステルを含む光増感剤組成物であって、前記光増感剤は下記式【化1】(式中、Rは水素、メチル、エチルおよびフェニルから選ばれる)を有するヘキサフルオロ-ビス-フェノールおよび下記式【化2】(式中、R′は水素、メチル、エチルおよびフェニルから選ばれる)を有するビス-ヘキサフルオロエーテルから選ばれる光増感剤組成物。

Claim (excerpt)：

ヘキサフルオロイソプロピリデン基を含有するジアゾフッ素化エステルを含む光増感剤組成物であって、前記光増感剤が下記式【化1】(式中、Rは水素、メチル、エチルおよびフェニルから選ばれる)を有するヘキサフルオロ-ビス-フェノールおよび下記式【化2】(式中、R′は水素、メチル、エチルおよびフェニルから選ばれる)を有するビス-ヘキサフルオロエーテルから選ばれることを特徴とする光増感剤組成物。

IPC (7)：

G03F 7/029 ,  C08K 3/16 KKQ ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/016 501 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027