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J-GLOBAL ID：200903004320241554

圧電アクチュエータおよびその製造方法

Inventor： 神野 伊策 ,  林 重徳 ,  高山 良一
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994250536
Publication number (International publication number)：1996116103
Application date： Oct. 17, 1994
Publication date： May. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】 圧電アクチュエータにおいて、圧電性を有する膜をはさむ電極の少なくとも一方を白金またはパラジウム、圧電性の膜として鉛を含有した圧電体で構成することにより良好な圧電特性を得ることができる。また形成した圧電体薄膜を用いたバイモルフ構造の好ましい構成からなる圧電アクチュエータとすることで、大きな変位を安定して発生させることが可能となる。【構成】 圧電アクチュエータにおいて、圧電性を有するPZT薄膜1と白金電極1から構成する。

Claim (excerpt)：

圧電性を有する膜の対向する面に電極を形成した構成で、電極の少なくとも一方を白金またはパラジウムとし、圧電性の膜として鉛を含有した圧電体からなる構造で、対向する電極間に電圧を加えることにより膜の水平面に対して垂直な変位を発生させることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (2)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (2)：

H01L 41/08 M ,  H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-005874
  
• 特開平4-184985
  
• 特開平4-159680
  
• 特開平2-222584