ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999331785
Publication number (International publication number)：2001147536
Application date： Nov. 22, 1999
Publication date： May. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】半導体デバイスの製造において、コンタクトホールパターン形成において、十分な感度及び解像力を有し、更にレジスト液中のパーティクルの発生が少なく、疎密依存性に優れたポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】(A)特定の構造で表される酸を発生するスルホニウム塩化合物、(B)特定のシリコン含有繰り返し単位と、特定の構造の繰り返し単位のうち少なくともいずれかの繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する酸分解性樹脂、(C)溶剤、(D)有機塩基性化合物、及び(E)特定構造の界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)一般式(PAG4)で表される活性光線または放射線の照射により酸を発生するスルホニウム塩化合物、(B)少なくとも下記一般式(I)で表される繰り返し単位と、下記一般式(IIa)及び(IIb)で表される少なくともいずれかの繰り返し単位とを含有する酸分解性樹脂(C)上記(A)および(B)を溶解する少なくとも1種類の溶剤、(D)有機塩基性化合物及び(E)フッ素系、シリコン系およびノニオン系から選択される少なくとも1つの界面活性剤、を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。【化1】一般式(PAG4)中、Rs1〜Rs3は各々独立に、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基を示す。またRs1〜Rs3のうちの2つはそれぞれの単結合または置換基を介して結合してもよい。Z-は、対アニオンを表す。を表す。【化2】式(I)中、M1は結合した2つの炭素原子(C-C)を含み、置換基を有していても良い脂環式構造を形成するための原子団を表す。nは1又は2を示す。Lは一方が環を形成する炭素原子に連結する、単結合またはn+1価の連結基を表す。R'、R''、R'''はそれぞれ独立に直鎖または分岐を有するアルキル基、フェニル基、トリアルキルシリル基またはトリアルキルシリルオキシ基を表す。【化3】式(IIa)及び(IIb)中、Zは酸素原子、-N(R3)-を表す。R3は水素原子、水酸基、直鎖もしくは分岐を有するアルキル基または-O-SO2-R4を表す。R4はアルキル基またはトリハロメチル基を表す。X1、X2は、それぞれ独立に酸素原子、イオウ原子、-NH-または-NHSO2-を表す。A1、A2はそれぞれ独立に単結合または2価の連結基を表す。R1、R2は、それぞれ独立に水素原子、シアノ基、水酸基、-COOH、-COOR5、-CO-NH-R6、置換されていても良いアルキル基、置換されていても良いアルコキシ基または置換されていても良い環状炭化水素基(環を形成する結合中にエステル基またはカルボニル基を有していても良い)を表す。R5は置換基を有していても良いアルキル基または置換基を有していても良い環状炭化水素基(環を形成する結合中にエステル基またはカルボニル基を有していても良い)を表す。R6は置換基を有していても良いアルキル基を表す。

IPC (16)：

G03F 7/039 601 , C08F222/02 , C08F222/06 , C08F222/40 , C08F232/08 , C08K 5/103 , C08K 5/16 , C08K 5/36 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , C08L 71/02 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027 , C07C381/12

FI (16)：

G03F 7/039 601 , C08F222/02 , C08F222/06 , C08F222/40 , C08F232/08 , C08K 5/103 , C08K 5/16 , C08K 5/36 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , C08L 71/02 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 504 , C07C381/12 , H01L 21/30 502 R

F-Term (77)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA06 , 2H025AA09 , 2H025AA11 , 2H025AA14 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB34 , 2H025CB41 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4H006AA03 , 4H006AB92 , 4H006TN10 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002CH052 , 4J002EH048 , 4J002ER027 , 4J002EU027 , 4J002EU047 , 4J002EU077 , 4J002EU137 , 4J002EU147 , 4J002EU237 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002FD312 , 4J002FD318 , 4J100AK32Q , 4J100AL03R , 4J100AL36Q , 4J100AL36R , 4J100AL39R , 4J100AM43Q , 4J100AM47Q , 4J100AR05P , 4J100AR11P , 4J100AR11R , 4J100AR31P , 4J100AR32P , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA11R , 4J100BA15P , 4J100BA15R , 4J100BA16R , 4J100BA20P , 4J100BA20R , 4J100BA28R , 4J100BA40R , 4J100BA51R , 4J100BA58Q , 4J100BA58R , 4J100BA72P , 4J100BA80P , 4J100BB18Q , 4J100BC07Q , 4J100BC07R , 4J100BC53R , 4J100CA05 , 4J100DA61 , 4J100FA03 , 4J100FA19

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