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J-GLOBAL ID：200903004325391910

静電チャックの電圧印加法

Inventor： 川畑 清 ,  下田 修一郎 ,  栗原 祥晃 ,  川合 潔 ,  岩井 明仁
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003008390
Publication number (International publication number)：2004221402
Application date： Jan. 16, 2003
Publication date： Aug. 05, 2004
Summary：

【課題】放電が発生せず、大気中から高真空の処理領域まで吸着物が安定して保持、固定できる静電チャックの電圧印加法を提供する。【解決手段】吸着物を保持、固定又は搬送する静電チャックに電圧を印加する方法において、大気中でスイッチを短絡して電圧を印加した後、真空引き中に少なくとも一度スイッチを開放し、より高真空の時点で再度スイッチを短絡して電圧を印加することを特徴とする静電チャックの電圧印加法。【選択図】 なし

Claim 1：

吸着物を保持、固定又は搬送する静電チャックに電圧を印加する方法において、大気中でスイッチを短絡して電圧を印加した後、真空引き中に少なくとも一度スイッチを開放し、より高真空の時点で再度スイッチを短絡して電圧を印加することを特徴とする静電チャックの電圧印加法。

IPC (2)：

H01L21/68 ,  H02N13/00

FI (2)：

H01L21/68 R ,  H02N13/00 D

F-Term (5)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA17 ,  5F031NA05