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J-GLOBAL ID：200903004327244966
走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992330199
Publication number (International publication number)：1994174461
Application date： Dec. 10, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【構成】3軸の微動機構4,探針5,Z軸の粗動機構6,X軸の粗動機構7およびY軸の粗動機構(図示略)を備える。【効果】走査プローブ顕微鏡においてゲインを下げることなく、正確に同じ視野を観察しながら傾斜の補正が行える。また、正の電圧のみを用いて斜めに、しかも微動機構のフルスケールの範囲を生かすことができ、かつ、演算を必要としないので、高速走査もできる。
Claim (excerpt)：
試料もしくはプローブを微小駆動せしめる3軸微動駆動機構と、試料のZ軸方向傾斜成分を吸収するためのZ軸方向駆動機構を有してなる走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
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