Pat
J-GLOBAL ID:200903004331235262

光学装置及びそれを有する露光装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高梨 幸雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001221893
Publication number (International publication number):2003037040
Application date: Jul. 23, 2001
Publication date: Feb. 07, 2003
Summary:
【要約】【課題】 光学素子が収納される筐体内から不必要なガスを放出し、経時的に安定した光学性能が得られる光学装置及びそれを有する露光装置を得ること。【解決手段】 筐体内に保持部材を用いて光学部材を保持し、該光学素子を介した光束を利用する光学装置において、該保持部材を含む空間aと保持部材を含まない空間bとを仕切り板で隔離し、該空間aの圧力をP2、該空間bの圧力をP1とするとき圧力制御手段で、P2>P1となるようにしている。
Claim (excerpt):
筐体内に保持材料を用いて光学素子を保持し、該光学素子を介した光束を利用する光学装置において、該保持材料を含む空間aと保持材料を含まない空間bとを仕切り板で隔離し、該空間aの圧力をP2、該空間bの圧力をP1とするとき圧力制御手段でP2 IPC (4):
H01L 21/027 ,  G02B 7/00 ,  G02B 7/02 ,  G03F 7/20 521
FI (5):
G02B 7/00 Z ,  G02B 7/02 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 F ,  H01L 21/30 515 D
F-Term (5):
2H044AD03 ,  5F046AA22 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12 ,  5F046DA27

Return to Previous Page