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J-GLOBAL ID:200903004331962628

位置検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993252869
Publication number (International publication number):1995110209
Application date: Oct. 08, 1993
Publication date: Apr. 25, 1995
Summary:
【要約】【目的】 光位置検出素子を使用した位置検出装置において、素子の暗電流を除き、位置精度の高い位置検出装置を提供することを目的とする。【構成】 光位置検出素子のアノードと増幅器との間にバイパス用のダイオードを接続し、そのダイオードに逆バイアス電圧を印加して、光位置検出素子の暗電流相当分をダイオードを介して接地することにより、増幅器には信号電流のみが入力される。
Claim 1:
逆バイアス電圧が印加されるカソードと、該カソード上に形成されるフォトダイオード及び抵抗膜と、該抵抗膜上に配置され入射光に応じた光電流を出力する対向する一対のアノードとを備えた光位置検出素子から出力される光電流に基づき、入射した光の位置を検出する位置検出装置において、前記光位置検出素子のアノードにダイオードが接続され、該ダイオードに逆バイアス電圧が印加されていることを特徴とする位置検出装置。
IPC (2):
G01B 11/00 ,  H01L 31/16

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