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J-GLOBAL ID：200903004333984572
誘導結合プラズマ質量分析装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992175427
Publication number (International publication number)：1994020642
Application date： Jul. 02, 1992
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 高感度な誘導結合プラズマ質量分析装置を実現する。【構成】 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起し生じたイオンをスキマコーン9より引出し、イオン光学系14により収束させ、二次電子増倍管19に導いて検出することにより気体試料中の被測定元素を分析する誘導結合プラズマ質量分析装置において、スキマコーン9より引き出されたイオンがイオン光学系14に入射する前の段階に、イオン質量によるイオンの粗分離を行う質量分離手段30を設け、測定対象質量以外のイオンを粗分離することを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
Claim (excerpt)：
高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起し生じたイオンをスキマコーンより引出し、イオン光学系により収束させ、二次電子増倍管に導いて検出することにより気体試料中の被測定元素を分析する誘導結合プラズマ質量分析装置において、スキマコーンより引き出されたイオンがイオン光学系に入射する前の段階に、イオン質量によるイオンの粗分離を行う質量分離手段を設け、測定対象質量以外のイオンを粗分離することを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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