Pat
J-GLOBAL ID：200903004340782942
マイクロメカニカル共振器
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
西岡 伸泰
, 杉岡 佳子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007106346
Publication number (International publication number)：2008263542
Application date： Apr. 13, 2007
Publication date： Oct. 30, 2008
Summary：
【課題】従来のマイクロメカニカル共振器よりも高い周波数帯域の共振周波数を利用することが可能なマイクロメカニカル共振器を提供する。【解決手段】本発明に係るマイクロメカニカル共振器は、基板7上に、基板7と平行な1つの平面内で互いに平行に伸びる2辺を有する平面形状を有する共振子2と、共振子2の前記2辺のそれぞれに対向して配置された2つの電極30とを具えている。共振子2は、基板7と平行な1つの平面内で共振子2の平面形状の2辺が互いに逆方向へずれるすべり振動が可能に支持され、2つの電極30は、共振子2との対向面が、共振子2の平面形状の2辺に沿って互いに逆方向にずれて、食い違い位置の2つのギャップ部を形成している。共振子2に主電圧を印加すると共に、2つの電極30へ高周波信号を入力することにより、共振子2と電極30との間に交番静電気力を発生させて共振子2に振動を与え、共振子2と2つの電極30との間の静電容量の変化を高周波信号として出力する。【選択図】図1
Claim 1：
基板(7)上に、基板(7)と平行な1つの平面内で互いに平行に伸びる2辺を有する平面形状の共振子(2)と、該共振子(2)の前記2辺のそれぞれに対向して配置された2つの電極(30)(30)とを具え、該共振子(2)は、前記平面内で前記平面形状の2辺が互いに逆方向へずれるすべり振動が可能に支持され、前記2つの電極(30)(30)は、前記共振子(2)との対向面が、前記共振子(2)の平面形状の2辺に沿って互いに逆方向にずれて、食い違い位置の2つのギャップ部を形成しており、該共振子(2)に主電圧を印加すると共に、前記2つの電極(30)(30)に高周波信号を入力することによって、該共振子(2)と該2つの電極(30)(30)との間に交番静電気力を発生させて共振子(2)に振動を与え、該共振子(2)と前記2つの電極(30)(30)との間の静電容量の変化を高周波信号として出力するマイクロメカニカル共振器。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (15)：
3C081BA42
, 3C081BA44
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081EA22
, 5J108AA07
, 5J108BB08
, 5J108CC01
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108DD09
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108JJ01
