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J-GLOBAL ID：200903004367002477

低抵抗測定装置および回路基板検査装置

Inventor：
伴 和浩

About 伴 和浩


Applicant, Patent owner：
日置電機株式会社

About 日置電機株式会社


Agent (1)： 酒井 伸司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999241208
Publication number (International publication number)：2001066334
Application date： Aug. 27, 1999
Publication date： Mar. 16, 2001
Summary：
【要約】【課題】 低抵抗体の抵抗値を正確かつ短時間で測定する。【解決手段】 一対のプローブを低抵抗体の各測定点にそれぞれ接触させ、その両プローブ間に第1の定電流を供給した状態で測定点間に生じる第1の電圧V(t1)を測定すると共にその両プローブ間に第2の定電流を供給した状態で測定点間に生じる第2の電圧V(t2)を測定し、測定した第1および第2の電圧並びに第1および第2の定電流の電流値に基づいて、第1および第2の電圧に重畳するプローブ接触時の熱起電圧ΔEoおよび所定周期の特定信号ΔE(t1),ΔE(t2)の影響を排除可能に低抵抗体の測定点間の抵抗値を測定する測定回路を備えた低抵抗測定装置において、測定回路は、第1の電圧V(t1)を測定した後、所定周期Tの整数倍の時間を経過した時点t2で第2の電圧V(t2)を測定する。
Claim 1：
一対のプローブを低抵抗体の各測定点にそれぞれ接触させ、その両プローブ間に第1の定電流を供給した状態で前記測定点間に生じる第1の電圧を測定すると共にその両プローブ間に第2の定電流を供給した状態で当該測定点間に生じる第2の電圧を測定し、当該測定した第1および第2の電圧並びに前記第1および第2の定電流の電流値に基づいて、前記第1および第2の電圧に重畳するプローブ接触時の熱起電圧および所定周期の特定信号の影響を排除可能に前記低抵抗体の測定点間の抵抗値を測定する測定回路を備えた低抵抗測定装置において、前記測定回路は、前記第1の電圧を測定した後、前記所定周期の整数倍の時間を経過した時点で前記第2の電圧を測定することを特徴とする低抵抗測定装置。
IPC (3)：
G01R 27/08 ,  G01R 31/02 ,  H05K 3/00
FI (3)：
G01R 27/08 ,  G01R 31/02 ,  H05K 3/00 T
F-Term (12)：
2G014AA13 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10 ,  2G014AC18 ,  2G028AA01 ,  2G028BC01 ,  2G028CG02 ,  2G028DH13 ,  2G028FK01 ,  2G028GL07 ,  2G028HM08 ,  2G028HN09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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