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J-GLOBAL ID：200903004386429902
位置検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994056324
Publication number (International publication number)：1995263321
Application date： Mar. 25, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ウエハマーク上に波長別の透過率分布特性の異なる感光材料又は被膜が配されている場合でも、そのウエハマークの位置を正確に検出する。【構成】 光ファイバ21から射出された照明光を波長選択フィルタ板22、NDフィルタ板23、コリメータレンズ系24、及び対物レンズ30等を介してウエハマーク32X上に照射し、ウエハマーク32Xからの反射光を、対物レンズ30、ビームスプリッター25、結像レンズ系33等を介して指標板34上に導き、指標板34上の指標マーク及びウエハマークの像を撮像素子39X上にリレーする。ウエハW上のフォトレジストの吸収帯を避けるように、波長選択フィルタ板22を介して照明光の波長帯を設定する。
Claim (excerpt)：
マスクパターンを感光材料が塗布された基板上に露光する露光装置に設けられ、前記基板上に形成された位置合わせ用のマークの位置を波長選択性を有する膜を介して検出する装置において、前記基板上の位置合わせ用のマークに前記波長選択性を有する膜を通して位置検出用の光を照射する送光系と、前記波長選択性を有する膜の波長別の透過率特性に応じて前記位置合わせ用のマークに照射される位置検出用の光の波長域を調整する波長可変手段と、前記位置合わせ用のマークからの光を検出する受光系と、を有し、前記受光系から出力される光電変換信号に基づいて前記位置合わせ用のマークの位置を検出することを特徴とする位置検出装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G03F 1/08
, G03F 9/00
