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J-GLOBAL ID：200903004401806645

回折格子の作製方法および二光束干渉露光装置

Inventor： 前田 英男
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 植本 雅治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996215500
Publication number (International publication number)：1998039125
Application date： Jul. 26, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 回折格子の作製においてスペックルノイズを低減し、ノイズの少ない回折格子を作製することが可能である。【解決手段】 光源1と、対物レンズ11および開口12からなり光源1からの光束を空間的にフィルタリングする少なくとも1つの空間フィルタ4と、該空間フィルタ4からの光束をコリメートするコリメートレンズ5と、光束を二光束に分離する分離手段6とを有し、分離された二光束を重ね合せることによって感光体8上に干渉縞を発生させる二光束干渉露光装置において、ノイズの影響を低減するため、露光中に、前記対物レンズ11を少なくとも一方向に移動させて光束を掃引する掃引手段18を備えている。

Claim (excerpt)：

二光束干渉法により回折格子を作製する回折格子の作製方法において、ノイズの影響を低減するため、光源からの光束を所定方向に掃引しながら、二光束干渉法により回折格子を作製することを特徴とする回折格子の作製方法。

IPC (4)：

G02B 5/18 ,  G03H 1/04 ,  G03H 1/18 ,  G11B 7/135

FI (4)：

G02B 5/18 ,  G03H 1/04 ,  G03H 1/18 ,  G11B 7/135 A