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J-GLOBAL ID：200903004411400850
干渉計及び光走査型トンネル顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鵜沼 辰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993315228
Publication number (International publication number)：1995167608
Application date： Dec. 15, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：
【要約】【目的】 位相情報と光導波路の中に閉じこめられた光の等位相線を測定可能とする。【構成】 光源21より放射された光を複数の光に分割する分割手段23と、それぞれの光の少なくとも一つの振動数を変化させる少なくとも一つの周波数シフト手段25、26と、それぞれの光を干渉させる干渉手段27、28と、干渉により発生したビートを検出する検出手段29、30と、ビートよりそれぞれの光の情報を抽出する抽出手段37と、光の波長より小さい領域より選択して取り出す少なくとも一つの光プローブ16を備え、試料に照射する測定光の他に振動数のわずかに異なる参照光を用意し、光プローブで取り出した測定光と、この参照光とを干渉させてビートを発生させ、このビートから狭い領域の光の位相を測定する。【効果】 小さい領域の光の位相情報を知ることができる。
Claim (excerpt)：
光源より放射された光を複数の光に分割する分割手段と、それぞれの光の少なくとも一つの振動数を変化させる少なくとも一つの周波数シフト手段と、それぞれの光を干渉させる干渉手段と、該干渉により発生したビートを検出する検出手段と、該ビートよりそれぞれの光の情報を抽出する抽出手段とを有する干渉計において、前記分割された少なくとも一つの光を前記放射される光の波長より小さい領域より選択して取り出す少なくとも一つの光プローブを備え、前記干渉手段は、それぞれの光プローブで取り出された光と前記分割されたそれぞれの光とを干渉させるとともに、前記干渉させる少なくとも一つの光の振動数がそれぞれの周波数シフト手段で変化させられていることを特徴とする干渉計。
IPC (2)：
G01B 9/02
, G01B 11/30 102
