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J-GLOBAL ID：200903004440706780
カーボンナノチューブ製造装置及びそれを用いたカーボンナノチューブの製造方法。
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長濱 範明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006324416
Publication number (International publication number)：2008137831
Application date： Nov. 30, 2006
Publication date： Jun. 19, 2008
Summary：
【課題】カーボンナノチューブを大面積に十分に均一に且つ効率よく製造することが可能なカーボンナノチューブ製造装置及びそれを用いたカーボンナノチューブの製造方法を提供する。【解決手段】反応炉10と、反応炉10に接続された原料ガス供給管11及び排気管12と、反応炉10内に配置された載置台13と、反応炉10内を所定温度に加熱するための加熱手段14とを備え、原料ガス供給管11を介して供給される原料ガスを載置台13上に配置された基板15上の触媒が配置される領域に接触させてCVD法によりカーボンナノチューブを合成するためのカーボンナノチューブ製造装置であって、 前記触媒配置領域上の全ての点に関し、該点と、該点に対して最も近い位置に存在する原料ガス吐出口16との間の距離が100mm以下となるように複数の原料ガス吐出口16が配設されていることを特徴とするカーボンナノチューブ製造装置。【選択図】図2
Claim 1：
反応炉と、前記反応炉に接続された原料ガス供給管及び排気管と、前記反応炉内に配置された載置台と、前記反応炉内を所定温度に加熱するための加熱手段とを備え、前記原料ガス供給管を介して供給される原料ガスを前記載置台上に配置された基板上の触媒が配置される領域に接触させてCVD法によりカーボンナノチューブを合成するためのカーボンナノチューブ製造装置であって、
前記触媒配置領域上の全ての点に関し、該点と、該点に対して最も近い位置に存在する原料ガス吐出口との間の距離が100mm以下となるように複数の前記原料ガス吐出口が配設されていることを特徴とするカーボンナノチューブ製造装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (15)：
4G146AA11
, 4G146BA11
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC26
, 4G146BC31A
, 4G146BC31B
, 4G146BC33A
, 4G146BC33B
, 4G146BC42
, 4G146BC43
, 4G146BC44
, 4G146DA03
, 4G146DA23
