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J-GLOBAL ID:200903004452128617
棒状ワークの高温加熱装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
堀田 実 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996222572
Publication number (International publication number):1998062069
Application date: Aug. 23, 1996
Publication date: Mar. 06, 1998
Summary:
【要約】【課題】 ワークの長さ方向に温度差を付けて加熱することができ、これにより局部加熱が可能であり、かつ、ヒータ電力及びパージガス量を低減してランニングコストを下げ、かつ、ヒータ等のカーボン部材の消耗を低減することができる棒状ワークの高温加熱装置を提供する。【解決手段】 高温加熱炉1が、上下方向に分割されそれぞれ独立して制御される複数の抵抗加熱ヒータ12と、ヒータ間に設置された熱遮蔽板14とを備え、各ヒータをゾーンコントロールしてワーク6を局部的に輻射加熱する。
Claim (excerpt):
上下に開口部を有し内部を通る棒状ワークを加熱する高温加熱炉と、前記上部開口部から下部開口部までワークを吊り下げて下降させる吊りロッドと、高温加熱炉内を不活性ガスでパージするガスパージ装置とを備えた棒状ワークの高温加熱装置において、前記高温加熱炉は、上下方向に分割されそれぞれ独立して制御される複数の抵抗加熱ヒータと、該ヒータ間に設置された熱遮蔽板と、を備え、これによりヒータをゾーンコントロールしてワークを局部的に輻射加熱する、ことを特徴とする棒状ワークの高温加熱装置。
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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単結晶の製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-231920
Applicant:住友電気工業株式会社
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特開平2-309179
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