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J-GLOBAL ID:200903004477816585

液冷式リモートプラズマアプリケータ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997016833
Publication number (International publication number):1997219295
Application date: Jan. 30, 1997
Publication date: Aug. 19, 1997
Summary:
【要約】【課題】 マイクロ波等のエネルギーをさほど減じずに、アプリケータ等を効率良く冷却する。【解決手段】 動作中に電磁放射を受容する導波路と、導波路を貫通し導波路内の電磁マイクロ波放射により自身の内部を流れるガスが励起されるプラズマチューブと、プラズマチューブの外側の周囲で且つプラズマチューブのうち導波路内部にあり電磁放射に曝露される部分の上をスパイラル状に巻き付けられるクーラントチューブ(冷却液チューブ)と、を備えている。使用中は、プラズマチューブを冷却するよう、クーラントがクーラントチューブ内を循環する。
Claim 1:
出力ソースに用いるための液冷式プラズマアプリケータであって、動作中に出力ソースから電磁放射を受容する導波路と、前記導波路内を通過し、且つ、前記導波路内の電磁放射により自身の中を流れるガスを励起するように配置されるプラズマチューブと、前記プラズマチューブの外側で、且つ、前記プラズマチューブのうち前記導波路の中に配置されている領域で電磁放射に曝露されている領域の上に、スパイラル状に巻き付けられるクーラントチューブであって、使用の際には前記プラズマチューブを冷却するためクーラントを前記クーラントチューブの中に循環させる、前記クーラントチューブとを備える液冷式プラズマアプリケータ。
IPC (2):
H05H 1/28 ,  H05H 1/30
FI (2):
H05H 1/28 ,  H05H 1/30

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