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J-GLOBAL ID：200903004489157536

光走査装置及び画像形成装置

Inventor： 望月 栄二
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 鈴木 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001290038
Publication number (International publication number)：2003098469
Application date： Sep. 21, 2001
Publication date： Apr. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】 多重反射型の光走査装置における基板間の接合、駆動回路とのワイヤボンディング、封止のための改良。【解決手段】 マイクロミラー10と対向ミラー基板20を接合し、可動ミラーと対向ミラーの間の多重反射によって走査角を拡大する光反射装置。対向ミラー基板20の接合面は、マイクロミラー10の基板上の電極配線を避けた部位のみでマイクロミラー基板と当接し接合される。対向ミラー基板20に設けられた貫通部より電極配線が露出し、その部分に電極金属14を追加成膜した後にワイヤボンディング(15)、封止(16)がなされる。

Claim (excerpt)：

揺動する可動ミラーを有し、かつ、該可動ミラーを駆動するための電極配線が成膜された第1の基板部材に、前記可動ミラーに対向させるための対向ミラーを有する第2の基板部材を接合し、前記可動ミラーに入射した光ビームを前記可動ミラーと前記対向ミラーとの間で反射させた後に出射する構成の光走査装置において、前記第2の基板部材の前記第1の基板部材との接合面は、前記第1の基板部材上の電極配線を避けた部位のみで前記第1の基板部材と当接していることを特徴とする光走査装置。

IPC (5)：

G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/036 ,  H04N 1/113

FI (5)：

G02B 26/10 104 Z ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/036 Z ,  B41J 3/00 D ,  H04N 1/04 104 Z

F-Term (19)：

2C362BA17 ,  2C362BA49 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC07 ,  5C051DD03 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072DA04 ,  5C072DA21 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072XA05