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J-GLOBAL ID:200903004490316478

イオンガイド

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998129601
Publication number (International publication number):1999307040
Application date: Apr. 23, 1998
Publication date: Nov. 05, 1999
Summary:
【要約】【課題】イオンガイドを低真空下で使用しても、イオン輸送の効率低下の起こらないイオンガイドを提供する。また、イオンが運動エネルギーを失う現象にも積極的な意義を見出して、それを利用したイオンガイドを提供する。【解決手段】光軸に直交するように配置され、光軸と直接交わる部分にはイオンを通過させるための穴を有し、奇数番目と偶数番目の電極板間では印加電位の規則的な増加減少を繰り返すような複数の電極板から成るイオンガイドにおいて、隣接する電極板間の電位差を、イオンの入射口側からイオンの出射口側に向けて、徐々に減少させるようにした。また、隣接する電極板間の平均電位をとった場合に、イオンの入射口とイオンの出射口の間の光軸上に、全体として電位勾配を生じるように、前記複数の電極板に電位を印加するようにした。
Claim (excerpt):
光軸に直交するように配置され、光軸と直接交わる部分にはイオンを通過させるための穴を有し、奇数番目と偶数番目の電極板間では印加電位の規則的な増加減少を繰り返すような複数の電極板から成るイオンガイドにおいて、隣接する電極板間の電位差を、イオンの入射口側からイオンの出射口側に向けて、徐々に減少させることを特徴とするイオンガイド。
IPC (2):
H01J 49/06 ,  H01J 37/04
FI (2):
H01J 49/06 ,  H01J 37/04 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開昭62-287598

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