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J-GLOBAL ID:200903004494287634
分光分布測定装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
中島 淳 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996292108
Publication number (International publication number):1998132661
Application date: Nov. 01, 1996
Publication date: May. 22, 1998
Summary:
【要約】【課題】試料に損傷を生じさせることなく、短時間で反射率を測定する。【解決手段】光源10から照射された光は、モノクロメータ12で単色光に変換され、測光窓14Bを通過して試料16に照射され、試料16からの反射光は、積分球14で拡散され、測光窓14Bを通過してモノクロメータ18に入射される。調整装置22は、測定範囲に渡って単色光の波長を変化させ、かつモノクロメータ12,18から同じ波長の単色光が射出されるように制御し、試料面を走査する。モノクロメータ12,18は同じ波長の単色光を射出するように調整されているので、モノクロメータ18からは試料16で反射された単色光の成分のみが射出され、受光器20からの受光信号から反射率の分布が求められる。
Claim (excerpt):
光源と、前記光源から入射された光を分光して射出すると共に射出する光の波長が調整可能な第1のモノクロメータと、第1のモノクロメータから射出され、かつ試料を透過または試料から反射された光を拡散して射出する拡散手段と、前記拡散手段から入射された光を分光して射出すると共に射出する光の波長が調整可能な第2のモノクロメータと、前記第2のモノクロメータから射出された光を受光する受光部と、を含む分光分布測定装置。
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