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J-GLOBAL ID：200903004498554068

走査型共焦点光学装置

Inventor： 菅 武志
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999335390
Publication number (International publication number)：2001154099
Application date： Nov. 26, 1999
Publication date： Jun. 08, 2001
Summary：

【要約】【課題】 直視型の高分解能走査型共焦点光学系の構成、及び、その組立・調整法。【解決手段】 被検部7に光を照射するための光源と、被検部7上で光を走査するための走査部2と、走査部2からの光を被検部7上に集光する集光光学系4と、集光光学系4と被検部7の間に配置された保護光学部材6と、被検部7からの戻り光を検出するための光検出部とを具備した共焦点光学装置において、保護光学部材6を集光光学系4の光軸に対して傾けて配置した走査型共焦点光学装置。

Claim (excerpt)：

被検部に光を照射するための光源と、該被検部上で光を走査するための走査部と、該走査部からの光を前記被検部上に集光する集光光学系と、該集光光学系と被検部の間に配置された保護光学部材と、前記被検部からの戻り光を検出するための光検出部とを具備した共焦点光学装置において、前記保護光学部材を前記集光光学系の光軸に対して傾けて配置したことを特徴とする走査型共焦点光学装置。

IPC (2)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00

FI (2)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 A

F-Term (25)：

2F065AA51 ,  2F065DD03 ,  2F065EE00 ,  2F065EE08 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065GG22 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065PP24 ,  2F065UU07 ,  2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AB06 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AC34