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J-GLOBAL ID:200903004502222083

光学測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 遠山 勉 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997073917
Publication number (International publication number):1998267830
Application date: Mar. 26, 1997
Publication date: Oct. 09, 1998
Summary:
【要約】【課題】 必要なデータを、短時間で測定することができる光学測定装置を提供する。【解決手段】 短コヒーレント長光を用いた光学測定装置内に、参照光を分割する光合分波器15と、分割された各参照光に異なる変調を施す参照光変調機構を設けることによって、光電変換器40に入射される、参照光と測定光の合波光に、深さの異なる複数(図では4つ)の測定点に関する情報が含まれるようにしておき、コンピュータ51によって、光電変換器40の出力から、それら複数の測定点に関する光学特性データが算出されるように光学測定装置を構成する。
Claim (excerpt):
入射された光を合波するための光合波手段と、短いコヒーレント長を有する光を発生する光発生手段と、この光発生手段が発生した光を、測定光と、第1ないし第N参照光とに分離する光分離手段と、この光分離手段が分離した前記第1ないし第N参照光に互いに異なるパターンの変調を施した上で、それら変調を施した第1ないし第N参照光を前記光合波手段に導入する参照光導入手段と、前記光分離手段が分離した測定光を測定対象試料に導入するとともに、測定対象試料によって反射、散乱された測定光を前記光合波手段に導入する測定光導入手段と、前記光合波手段によって合波された光の強度に応じたレベルの電気信号を出力する光電変換手段と、前記参照光導入手段が前記第1ないし第N参照光に施す変調パターンに基づき、前記光電変換手段が出力する電気信号から、前記測定対象試料内の、それぞれ、その時点における前記第1ないし第N参照光の前記光分離手段から前記光合波手段に至る光路長に応じた位置に存在する第1ないし第Nの測定点に関する光学特性データを算出する算出手段とを備える光学測定装置。
IPC (4):
G01N 21/17 ,  A61B 10/00 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30
FI (4):
G01N 21/17 A ,  A61B 10/00 E ,  G01B 11/24 Z ,  G01B 11/30 Z

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