搬送装置およびその搬送装置を有するマルチチャンバ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：筒井大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994109458
Publication number (International publication number)：1995321178
Application date： May. 24, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】マチルチャンバ装置の処理能力を向上して処理のスループットを向上する。【構成】搬送室10とこれの回りに配置された複数の処理室11〜13とを有している。ローダ20からロードロック室14内に搬入された2つの被処理物は、搬送装置30の搬送用ハンド37a,37bにそれぞれ載置される。そして、この搬送装置30によって順次3つの処理室11〜13内に搬入され、それぞれの処理室11〜13で処理が終了した後のそれぞれの被処理物は、搬送装置30によって順次後工程側の処理室内に搬入されるとともに、ロードロック室14を介してローダ20に戻される。それぞれの処理室11〜13は搬送用ハンド37a,37bの数に対応して、2つずつの処理ステージを有している。

Claim (excerpt)：

複数の処理室のそれぞれに対して被処理物を搬送する搬送装置であって、複数の被処理物をそれぞれ別々に支持する複数の支持部を有し、複数の被処理物を同時にそれぞれの処理室に搬送するようにしたことを特徴とする搬送装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , C23C 14/56 , H01L 21/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平3-274746
特開平4-085812
特開平4-304372

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