Pat

J-GLOBAL ID：200903004523479840

フッ酸系エッチング液

Inventor： 西沢 学 ,  櫛谷 英樹 ,  中尾 泰昌
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993146898
Publication number (International publication number)：1994333912
Application date： May. 26, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【構成】原子重量%表示でBを0.2〜20%、必要に応じてHFを0.1〜65%、NH4 Fを0.1〜60%または酢酸を1〜50%含有するフッ酸系エッチング液。【効果】ガラス表面に生じるヘイズを減らす目的に好適であり、さらに液組成、特にBの量を適切に選択することにより所定のエッチングレートを確保することができる。

Claim (excerpt)：

原子重量%表示でB を0.2 〜20%含有するフッ酸系エッチング液。

IPC (2)：

H01L 21/308 ,  C09K 13/10