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J-GLOBAL ID：200903004534887567

標準ガス調製装置

Inventor： 野田 廣 ,  角 心吾
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 野口 繁雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997095136
Publication number (International publication number)：1998274604
Application date： Mar. 28, 1997
Publication date： Oct. 13, 1998
Summary：

【要約】【目的】 ボンベガスを精製空気によって希釈して標準ガスを作製する標準ガス調製装置を、機構が簡便で、安価、かつ高精度にする。【構成】 空気はエアポンプ5により空気精製機構6に送られて精製され、マスフローメータ24を通ってミキサー14に送られる。ボンベガスはガスボンベ10から毛細管11によって流量を調整されながらマスフローメータ26を通ってミキサー14に送られる。このとき精製空気の流量により得られるマスフローメータ24の出力と、ボンベガスの流量により得られるマスフローメータ26の出力が制御機構17に送られ、それらの出力に基づいてエアポンプ5の流量が制御され、目的濃度の標準ガスが作成されて測定装置18に供給される。

Claim (excerpt)：

ボンベガスを精製空気によって希釈して標準ガスを作製する標準ガス調製装置において、ボンベガスの流路には抵抗管と流量を測定するマスフローメータとを備え、精製空気の流路には空気を送るエアポンプと、空気を精製する空気精製機構と、流量を測定するマスフローメータとを備え、前記各マスフローメータからの出力をもとに、ボンベガスの希釈率が一定となるように前記エアポンプのモータの回転速度を制御する制御機構を備えたことを特徴とする標準ガス調製装置。