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J-GLOBAL ID:200903004544240324

ガラス基板の切断面検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大島 陽一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003433290
Publication number (International publication number):2005162588
Application date: Dec. 26, 2003
Publication date: Jun. 23, 2005
Summary:
【課題】 ガラス基板の切断面を複数の方向から立体的に検査して、ガラス基板の品質検査に利用される切断面情報を迅速且つ正確に光学的に検出可能とする。【解決手段】 ガラス基板を固定する固定プレート110と、基板の切断面の上側、下側、平面プロフィール映像をそれぞれ得るための第1、第2、及び第3撮影手段120、130、140と、第1〜第3撮影手段が固定され、それらを移動させるフレーム151を備えたメインロボット150を備えた切断面検査装置を提供する。この装置により光学的に取得された切断面情報をフィードバックして、ガラス基板の生産性及び品質を向上させることができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
ガラス基板の切断面を検査する装置であって、 前記ガラス基板の切断面が一方の側に突出するように前記ガラス基板を固定する固定プレートと、 前記ガラス基板の上面の上方に位置し、前記切断面の上側に向かって前記上面に垂直にガラス基板を撮影して映像を得る第1カメラを有する第1撮影手段と、 前記ガラス基板の下面の下方に位置し、前記切断面の下側に向かって前記下面に垂直にガラス基板を撮影して映像を得る第2カメラを有する第2撮影手段と、 前記ガラス基板の切断面に対向するように位置し、前記切断面に垂直にガラス基板を撮影して映像を得る第3カメラを有する第3撮影手段と、 前記ガラス基板の切断面に隣接して設置され、前記第1乃至第3撮影手段がそれぞれ結合されるフレームと、 前記フレームに装着された前記第1乃至第3撮影手段を、前記切断面の長手方向に沿って移動させ、切断面を撮影できるように前記フレームを移動させるフレーム移動手段とを含むガラス基板の切断面検査装置。
IPC (2):
C03B33/02 ,  G01N21/958
FI (2):
C03B33/02 ,  G01N21/958
F-Term (11):
2G051AA84 ,  2G051AB02 ,  2G051AC19 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051DA17 ,  4G015FA00 ,  4G015FB01 ,  4G015FC14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 板ガラスの欠点検出装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-011169   Applicant:セントラル硝子株式会社, 大洋エレックス株式会社
  • 特開平4-168351
  • 特開平4-168351

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