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J-GLOBAL ID：200903004564129845
画像入力装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991262820
Publication number (International publication number)：1993076005
Application date： Sep. 13, 1991
Publication date： Mar. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】 照明光量の変動およびステージの移動速度の変動の影響を除去した精密な画像入力装置を実現する。【構成】 ステージ上に載置された被検査物を照明する光源と、前記被検査物の画像を撮像するTDI(タイム・ディレイ・インテグレーション)CCDセンサと、前記光源の出力光量に対応した出力を生成する光検出手段と、該光検出手段の出力をTDICCDセンサの走査時間に対応して積分する手段と、該積分手段の出力をTDICCDセンサの画素列数に対応する期間加算する累積手段と、該累積手段の出力に基づきTDICCDセンサの出力を補正する手段とを備えた画像入力装置。
Claim (excerpt)：
被検査物を載置して移動可能なステージ手段と、該ステージ手段に載置された被検査物を照明する光源手段と、前記被検査物の画像を撮像し、前記ステージ手段の移動に対応して各走査行の蓄積電荷を複数行分列方向に累積するTDI(タイム・ディレイ・インテグレーション)CCDセンサと、前記光源手段の出力光量に対応した出力を生成する光検出手段と、該光検出手段の出力を前記TDICCDセンサの各走査行に対応する期間ごとに積分する積分手段と、該積分手段の出力を前記TDICCDセンサの画素列数に対応する期間前記ステージ手段の移動に応じて加算する累積手段と、該累積手段の出力に基づき前記TDICCDセンサの出力を補正する出力補正手段と、を具備することを特徴とする画像入力装置。
IPC (6)：
H04N 7/18
, G01N 21/88
, G03F 1/08
, G06F 15/62 405
, G06F 15/64 400
, H01L 21/66
Cited by examiner (5)
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