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J-GLOBAL ID：200903004564420183

電子ビーム装置における自動焦点合わせと非点収差補正方法

Inventor： 山田 篤
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992031980
Publication number (International publication number)：1993234555
Application date： Feb. 19, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 自動的に焦点合わせと非点補正とを精度良く行うことができる電子ビーム装置における自動焦点合わせと非点補正方法を実現する。【構成】 電子ビームの水平方向の2次元走査によって得られた信号強度分布にピークが一つの場合、垂直方向にラスター走査した結果得られた図7(b)の分布から、ピーク位置P2 を検出する。そして、このP2 と、水平方向に2次元走査したときのピーク位置P1 とから、P0 =(P1 +P2)/2を演算して求め、このP0 の値に対物レンズの励磁強度を設定する。このようにして、試料の表面状態などにより、水平方向の電子ビームの2次元走査で2つのピークが得られなかった場合でも、正確に最小錯乱円の位置に電子ビームの焦点を合わせることができる。この焦点合わせが終了した後、前記したと同様な自動的な非点補正動作が行われる。

Claim (excerpt)：

試料上に照射される電子ビームを細く集束するための集束レンズと、電子ビームを試料上でX方向とY方向へ2次元的に走査するための偏向手段と、電子ビーム通路に配置された非点補正装置とを備えた電子ビーム装置において、試料上で水平方向に電子ビームを走査しその水平走査ラインを垂直方向に移動させて試料を2次元走査し、この2次元走査によって得られた検出信号を積分するステップ、この電子ビーム走査を対物レンズの励磁強度を変化させながら多数回行うステップ、対物レンズの励磁強度の変化に伴う検出信号の積分値の変化曲線を求めるステップ、この変化曲線中に2つのピークがある場合には、2つのピークの中間位置の励磁強度に対物レンズを調整し、その後非点補正動作を行うステップ、この変化曲線中から1つのピークしか得られない場合には、試料上で垂直方向に電子ビームを走査しその垂直走査ラインを水平方向に移動させて試料を2次元走査し、この2次元走査によって得られた検出信号を積分すると共に、この電子ビーム走査を対物レンズの励磁強度を変化させながら多数回行い、対物レンズの励磁強度の変化に伴う検出信号の積分値の変化曲線を求め、この変化曲線と既に得られている1回目の電子ビームの2次元走査に基づく変化曲線のそれぞれのピークの中間位置の励磁強度に対物レンズを調整し、その後非点補正動作を行うステップより成る電子ビーム装置における自動焦点合わせと非点収差補正方法。

IPC (3)：

H01J 37/21 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/28