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J-GLOBAL ID：200903004565446402

変位制御アクチュエータ

Inventor： 今田 勝巳 ,  大土 哲郎 ,  杉本 雅人 ,  冨田 佳宏 ,  川▲さき▼ 修
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 松田 正道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997327353
Publication number (International publication number)：1998215009
Application date： Nov. 28, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】大きい変位量を有し、しかも変位量、共振周波数などの特性ばらつきの極めて小さい小型の精密変位制御アクチュエータは従来存在しなかった。【解決手段】相対する主面を有する厚み50μm、幅1mm 、長さ 8mmの長方形状のニオブ酸リチウム(LiNbO3)からなる圧電基板2a、2bは、分極軸の向きが互いに逆方向となるように、主面同士が直接接合されており、これにより圧電素子2が構成されている。この圧電素子2の相対する2つの主面には、厚み0.2μmのクロム-ニッケルからなる電極3a、3bがそれぞれ形成され、バイモルフ型の機械-電気変換子1よりなる精密変位制御アクチュエータが構成されている。

Claim (excerpt)：

相対する第1と第2の主面を有する少なくとも2つの圧電基板の前記第1の主面同士が直接接合を利用して接合された圧電素子と、前記それぞれの圧電素子の前記第2の主面に形成された電極とを有する機械-電気変換子と、前記機械-電気変換子を支持する支持体と、を備えたことを特徴とする変位制御アクチュエータ。

IPC (4)：

H01L 41/09 ,  G02B 26/10 101 ,  G05D 3/00 ,  H02N 2/00

FI (4)：

H01L 41/08 M ,  G02B 26/10 101 ,  G05D 3/00 G ,  H02N 2/00 B