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J-GLOBAL ID：200903004584941120

感放射線性樹脂材料及び感放射線性塗布組成物

Inventor： 新実 高明 ,  加和 学
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997092124
Publication number (International publication number)：1998282668
Application date： Apr. 10, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 パターン形成精度の向上した感放射線性樹脂材料を提供する。【解決手段】 末端に、感放射線照射により液体との親和性あるいは反応性を獲得する基、又は架橋反応を起こす官能基を有し、特定分子量を有する分岐高分子からなる感放射線性樹脂材料により達成される。

Claim (excerpt)：

分岐高分子からなり、該分岐高分子がその高分子鎖末端に、電磁波又は電子線の照射あるいはこれらにより誘起される化学反応により液体との親和性あるいは反応性を獲得する官能基、又は、電磁波又は電子線照射あるいはこれにより誘起される化学反応により架橋反応を起こす官能基を有する感放射線性樹脂材料。但し、該分岐高分子は2つの関係式(a)、及び(b)を同時に満たす。ここで、Mn(GPC) 及びMw(GPC) はゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)法で測定される数平均分子量と重量平均分子量をそれぞれ表し、Mwはマススペクトル法又は光散乱法で測定される真の重量平均分子量を表す。【数1】 500≦Mn(GPC) ≦200,000 (a) Mw/Mw(GPC) >1 (b)

IPC (7)：

G03F 7/038 601 ,  C08L101/00 ,  H01L 21/027 ,  C08G 63/00 ,  C08G 65/00 ,  C08G 69/00 ,  C08G 73/02

FI (7)：

G03F 7/038 601 ,  C08L101/00 ,  C08G 63/00 ,  C08G 65/00 ,  C08G 69/00 ,  C08G 73/02 ,  H01L 21/30 502 R