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J-GLOBAL ID：200903004587005736
合成石英ガラス部材の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992160346
Publication number (International publication number)：1993330830
Application date： May. 27, 1992
Publication date： Dec. 14, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は回収再使用することができるし、シラン化合物の火炎加水分解で発生した合成シリカ微粒子を効率よく堆積し得るにした出発物質を用いて合成石英ガラス部材を製造する方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、シラン化合物の火炎加水分解で発生した合成シリカ微粒子を回転しており、垂直に保持されている出発物質の先端部に付着、堆積させ、この出発物質を順次引上げて合成シリカ母材を作り、ついでこれを加熱、焼結し透明ガラス化して合成石英ガラス部材を製造する方法において、該出発物質が耐熱性材料からなり、先端部の形状、容積が大きくされた棒状体からなるものとしてなることを特徴とするものである。
Claim 1：
シラン化合物の火炎加水分解で発生した合成シリカ微粒子を回転しており、垂直に保持されている出発物質の先端部に付着、堆積させ、この出発物質を順次引上げて合成シリカ母材を作り、ついでこれを加熱、焼結し透明ガラス化して合成石英ガラス部材を製造する方法において、該出発物質が耐熱性材料からなり、先端部の形状、容積が大きくされた棒状体からなるものとしてなることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。
IPC (2)：
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