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J-GLOBAL ID：200903004611994932

位置合せ装置

Inventor： 石橋 頼幸
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993050483
Publication number (International publication number)：1994267828
Application date： Mar. 11, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】被位置合せ物体間のギャップ長の影響が現われるのを抑制できるを光ヘテロダイン式の位置合せ装置を提供する。【構成】マスクとウェハとに対向関係に少なくとも一対の回折格子13a,14aを設けるとともに、回折格子13aに対して位置合せ方向と直交する面を境にし左右対称に周波数の異なる2本の光ビーム15,16を照射し、この照射によって得られた回折光のうちの特定次数の回折光IM(0,1)を位置情報として用いるようにした光ヘテロダイン式の位置合せ装置において、回折格子14aの位置合せ方向と直交する方向の実効的な幅LWyが、位置合せ方向と直交する方向の格子ピッチをPy2、2本の光ビームのうちの短波長光ビームの波長をλ、マスクとウェハとの間の最小ギャップ長をZとしたとき、LWy=3 ×tan θ×Z(ただし、θ=sin -1(λ/Py2))以下に設定されている。

Claim 1：

対向配置された第1の物体と第2の物体とを対向方向と直交する面内で位置合せするために、上記第1の物体と上記第2の物体とに対向関係に少なくとも一対の回折格子を設けるとともに、上記第1の物体に設けられた回折格子に対して上記位置合せ方向と直交する面を境にして左右対称に周波数の異なる2本の光ビームを照射し、この照射によって得られた回折光のうちの特定次数の回折光を位置情報として用いるようにした光ヘテロダイン式の位置合せ装置において、前記第2の物体に設けられた回折格子の前記位置合せ方向と直交する方向の実効的な幅Lが、前記位置合せ方向と直交する方向の格子ピッチをP、前記2本の光ビームのうちの短波長光ビームの波長をλ、前記第1の物体と前記第2の物体との間の最小ギャップ長をZとしたとき、L=3 ×tan θ×Z(ただし、θ=sin -1(λ/P))以下に設定されていることを特徴とする位置合せ装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/18 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68