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J-GLOBAL ID:200903004613362674

赤外線式ガスセンサー

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993277937
Publication number (International publication number):1995128231
Application date: Nov. 08, 1993
Publication date: May. 19, 1995
Summary:
【要約】【目的】 被検出空間において、妨害ガスの発生増加を監視しながら、被検出ガスの発生増加を検出しうる構造の簡単な赤外線式ガスセンサーを得る。【構成】 干渉フィルター6の透過率が最大になる波長が入射角に依存する性質を利用し、被検出ガスの発生及び増加を干渉フィルターに垂直に入射する光12を用いて検出し、妨害ガスの発生及び増加を干渉フィルター6に入射角θで入射する光13を用いて検出する。
Claim (excerpt):
光源と、前記光源から発せられた光を被検出空間に投射する光学系と、前記被検出空間を伝播してきた光をそれぞれ異なった角度で反射する第1及び第2の反射鏡と、前記第1及び第2の反射鏡により反射された光のうちいずれか一方の光の進行方向に対して直角に配置され、前記第1及び第2の反射鏡により反射された光のうち特定の波長の光のみを透過させる干渉フィルターと、前記第1及び第2の反射鏡により反射され、かつ前記干渉フィルターを透過したそれぞれの光の強度を測定する第1及び第2の光センサーと、前記第1の光センサーの出力と前記第2の光センサーの出力の差を演算する減算手段と、前記第1又は第2の光センサーの出力に基づいて前記被検出空間における第1の波長の光を吸収する被検出ガスの発生及び増加を検出し、前記減算手段からの出力信号に基づいて前記被検出空間における前記第1の波長とは異なる第2の波長の光を吸収する他の妨害ガスの発生及び増加を検出する検出手段とを具備する赤外線式ガスセンサー。

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