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J-GLOBAL ID：200903004613810634

微小電気機械素子の駆動方法及び微小電気機械素子アレイ

Inventor：
荻窪 真也

About 荻窪 真也

, 
中村 博親

About 中村 博親


Applicant, Patent owner：
富士フイルム株式会社

About 富士フイルム株式会社


Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  矢澤 清純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005219236
Publication number (International publication number)：2007034054
Application date： Jul. 28, 2005
Publication date： Feb. 08, 2007
Summary：
【課題】 低電圧、低消費電力であり、且つ遷移終期の可動ミラーの振動が防止されて高速サイクルでの作動を可能とする微小電気機械素子の駆動方法及び微小電気機械素子アレイを提供する。【解決手段】 可動部27を一方の定位点Y1に変位させて弾性部29に弾性エネルギを蓄えた後、駆動源28、35a、35bからの物理作用力により一方の定位点Y1に保持する。そして、駆動源28、35a、35bからの物理作用力を制止して弾性エネルギを解放することにより、弾性部29に上記と逆極性の弾性エネルギを再度蓄えながら可動部27を他方の定位点Y2に変位させ、物理作用力により他方の定位点Y2に保持する。これにより、可動部27は、外部からの物理作用力によらず、弾性部29に蓄えられた弾性エネルギのみにより変位する。【選択図】 図6
Claim 1：
弾性変形により弾性エネルギを蓄える弾性部と、該弾性部に支持された可動部と、前記可動部を保持するための物理作用力を加える駆動源とを備え、前記可動部の変位先となる複数の定位点のうち、いずれかの定位点へ前記可動部を変位させる微小電気機械素子の駆動方法であって、 前記可動部を一方の定位点に変位させて前記弾性部に弾性エネルギを蓄えた後、前記駆動源からの物理作用力を制止すると共に前記弾性部に蓄えられた弾性エネルギを解放することで前記弾性部に先の弾性エネルギとは逆の極性の弾性エネルギを再度蓄えながら前記可動部を他方の定位点に変位させることを特徴とする微小電気機械素子の駆動方法。
IPC (3)：
G09G 3/34 ,  B81B 3/00 ,  G09G 3/20
FI (5)：
G09G3/34 D ,  B81B3/00 ,  G09G3/20 611A ,  G09G3/20 621A ,  G09G3/20 621F
F-Term (8)：
5C080AA17 ,  5C080BB05 ,  5C080DD08 ,  5C080DD26 ,  5C080JJ02 ,  5C080JJ04 ,  5C080JJ05 ,  5C080JJ06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (2)

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