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J-GLOBAL ID：200903004637611799

光走査型デバイス

Inventor： 冨田 勝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995039114
Publication number (International publication number)：1996213580
Application date： Feb. 04, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 構造が簡単、かつ安定に動作する安価な光走査型デバイスを提供すること。【構成】 ダイオード特性を示す半導体基板1の一方の面にMIS構造のセンシング部2を形成するとともに、前記半導体基板1の他方の面に前記センシング部2に対応するように固体光放射部3を複合構造または一体構造で設け、この固体光放射部3によって前記センシング部2にプローブ用の光Lを適宜照射するように構成した。

Claim (excerpt)：

ダイオード特性を示す半導体基板の一方の面にMIS構造のセンシング部を形成するとともに、前記半導体基板の他方の面に前記センシング部に対応するように固体光放射部を複合構造または一体構造で設け、この固体光放射部によって前記センシング部にプローブ用の光を適宜照射するように構成したことを特徴とする光走査型デバイス。

IPC (2)：

H01L 27/14 ,  G01N 21/00