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J-GLOBAL ID：200903004650995415
珪素を含む炭素被膜およびその作製方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鴨田 朝雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993093787
Publication number (International publication number)：1994101047
Application date： Sep. 07, 1981
Publication date： Apr. 12, 1994
Summary：
【要約】【目的】 珪素を含み、硬さや熱伝導率を高くした炭素被膜を提供する。【構成】 炭素を主成分とし、30原子%以下の珪素を含む炭素被膜および反応空間内に珪素を一部に含んだ炭化水素を導入し、プラズマエネルギを導入することにより、30原子%以下の珪素を含む炭素被膜を作製することを特徴とする炭素被膜作成方法。
Claim (excerpt)：
炭素を主成分とし、30原子%以下の珪素を含む炭素被膜。
IPC (6)：
C23C 16/32
, B41J 2/335
, C23C 16/26
, C30B 29/04
, H01L 21/205
, H01L 21/314
