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J-GLOBAL ID：200903004663867785
オゾン発生装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 富士弥 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995324113
Publication number (International publication number)：1997156904
Application date： Dec. 13, 1995
Publication date： Jun. 17, 1997
Summary：
【要約】【課題】 無声放電式のオゾン発生装置において、従来不可欠であった誘電体を設けなくても、小消費電力でオゾンを効率良く生成できるようにする。【解決手段】 外径数mm程度のワイヤー状の導線を複数本束ねて成る高電圧電極11の同軸外周に、例えば18mmのギャップ12を介して円筒状の接地電極13(SUS接地電極管)を配設する。前記電極11、13間に、立ち上がりが急峻で且つパルス幅の短い、例えば立ち上がり時間200nsec、パルス幅2μsec、周波数1000HZのパルス電圧を印加する。すると電子のエネルギーだけが高く、分子やイオンのエネルギーは低い放電、すなわち非平衡プラズマ放電が実現でき、従来のように、O2分子との衝突に関与しない電子が多数流れるストリーマ状放電柱は、発生しない。しかもO2分子との衝突に必要な電子を発生することができるので、少ない消費電力でオゾンが効率良く生成される。
Claim 1：
所定長さのギャップを介して互いに対向配設される高電圧電極および接地電極を備え、前記高電圧電極と接地電極間に電圧を印加して前記ギャップ内に流通させた原料ガス中にオゾンを発生させる無声放電式のオゾン発生装置において、前記高電圧電極と接地電極の間に、立ち上がりが急峻で且つパルス幅の短いパルス高電圧を印加してオゾンを発生させることを特徴とするオゾン発生装置。
IPC (2)：
FI (2)：
C01B 13/11 A
, H01T 23/00
