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J-GLOBAL ID：200903004668551492

スタンパ及びその製造方法

Inventor： 峰岸 慎治 ,  館脇 政行
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993343012
Publication number (International publication number)：1995169117
Application date： Dec. 14, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 耐久性に優れ、またタクトタイムの短縮が図れるようにする。【構成】 ディスクに転写するためのピットパターンが形成された基体50表面に金属層51が形成されてなるスタンパにおいて、金属層51の表面に、金属層51を構成する材料よりもモース硬度が高く、化学的、熱的な安定性が高いチタン、シリコン、モリブデンもしくはタングステンのいずれか一つ又はそれらの窒化物の一つ又はそれらの炭化物のひとつからなる表面層11を積層する。

Claim (excerpt)：

ディスクに転写するためのピットパターンが形成された基体表面に金属層が形成されてなるスタンパにおいて、前記金属層の表面には、チタン、シリコン、モリブデンもしくはタングステンのいずれか一つ又はそれらの窒化物の一つ又はそれらの炭化物の一つからなる表面層が積層されていることを特徴とするスタンパ。